PECVD Furnace

Aanleiding

Tempress is leverancier van procestechnologie, onderdelen, software voor de zonnepanelenindustrie. Tempress wilde haar marktaandeel in PECVD-ovensystemen aanzienlijk vergroten met een vierlaags ovensysteem.

Opdracht: Bridging the Challenge

Ontwikkel een nieuw ovensysteem en bereid de serieproductie voor, alles met focus op integrale kostprijs.

Aanpak

Om de eisen te achterhalen heeft Post en Dekker alle gebruikers methodisch en gefaseerd benaderd op gebied van productstructurering, integraal ontwerp en borging.

Eerst is een complete set specificaties in kaart gebracht, welke later de basis vormde voor een gefaseerde projectaanpak om het PECVD-systeem integraal te ontwerpen. Een focus op deliverables en gefaseerde afloop volgens de projectmethodiek Prince2® was hierbij essentieel.

Resultaat: Go beat the competition!

Een modulaire productfamilie PECVD Furnace met drie hoofdmodules, die elk bestaan uit enkele tientallen vaste en optionele submodules. Dit ontwerp leidde tot de volgende resultaten:

• Een innovatief, modulair systeem;
• 2 testopstellingen ter validatie werking submodules;
• Succesvolle realisatie en testen alfa en beta machine;
• Capaciteit: 1600 wafers/hr;
• Verwachte seriegrootte: >50 machines per jaar;
• Volledige implementatie voor opstart serieproductie.